Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用于传感的聚合物微谐振环的研制 | |
郭洪波; 鄂书林 ; 邓文渊; 孔光明
| |
| 2008-10-15 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
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| ISSN | 1003-8213 |
| 期号 | 5 |
| 摘要 | 对一种用于传感的聚合物微谐振环进行了研制。器件为多模耦合器结构,作为微谐振环的输入/输出耦合结构,微谐振环采用跑道形结构。首先分析了器件的原理,给出了器件的优化设计参数。采用紫外光敏材料SU-8和CYTOP作为波导芯层和下包层材料,制作了上述结构的微谐振环器件,并进行了测试。扫描电镜的结果显示,所制备器件的整体形貌比较清晰,波导结构均匀光滑,侧壁陡直度较高。采用截断法测得单模直波导的传输损耗约为2.2dB/cm。对多模耦合器(MMI)结构和弯曲波导的测试表明,MMI结构在较宽的波长范围内实现了接近50∶50的功分比,且损耗较低,而纯弯曲波导结构的通光性能良好。测量得到的器件谐振输出光谱表明,器件在主谐振峰处的插入损耗约为38dB,自由光谱区(FSR)约为1.87nm。通过数据处理分析得到弯曲波导的传输损耗约为5.2dB/cm。提出了进一步降低器件损耗、改善器件性能的措施。 |
| 关键词 | 微谐振环 传感 聚合物材料 多模耦合器(Mmi) |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21374 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭洪波,鄂书林,邓文渊,等. 用于传感的聚合物微谐振环的研制[J]. 微细加工技术,2008(5). |
| APA | 郭洪波,鄂书林,邓文渊,&孔光明.(2008).用于传感的聚合物微谐振环的研制.微细加工技术(5). |
| MLA | 郭洪波,et al."用于传感的聚合物微谐振环的研制".微细加工技术 .5(2008). |
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| 用于传感的聚合物微谐振环的研制.caj（330KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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