Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 带有环尺的掩模版 （实用新型） | |
| 崔庆丰 | |
| 1998-05-06 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
| 公开日期 | 1998-05-06 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 摘要 | 本实用新型属于衍射及二元光学元件制造技术领域，涉及掩模版与待曝光基底中心对准的带有环尺的掩模版。解决已有技术中掩模版中心与待曝光基底中心对准精度低，衍射及二元光学元件的中心偏差难以控制，影响光学系统成象质量的问题。它由光刻掩模版的工作区域，透明和不透明环带，对…… |
| 申请日期 | 1996-05-29 |
| 专利号 | 2280935 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | 96213029.X |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12850 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 崔庆丰. 带有环尺的掩模版 （实用新型）. 2280935[P]. 1998-05-06. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN199800228093500000（147KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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