消除相关气路流量波动的高精度质量流量控制设备 （实用新型）

	消除相关气路流量波动的高精度质量流量控制设备（实用新型）
	宋航; 周天明; 蒋红; 张宝林; 金亿鑫
	2000-11-29
专利权人	中国科学院长春物理研究所
公开日期	2000-11-29
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型属于一种在气体流量精确控制过程中，消除相关气路在调节改变某一气路和某几个气路气体流量时引起相关其它气路气体流量波动的一种装置。是在有单一公共运载气体源的气体流量精确控制设备中，增加一路装有一个通用的质量流量控器，不通过任何反应物的附加气路作为气体流量……
申请日期	1998-12-30
专利号	2408490
语种	中文
申请号	98251712.2
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12798
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	宋航,周天明,蒋红,等. 消除相关气路流量波动的高精度质量流量控制设备（实用新型）. 2408490[P]. 2000-11-29.