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半导体光学测量真空辅助低温装置 (实用新型)
武胜利; 王立军; 付德惠; 刘云
1999-04-14
专利权人中国科学院长春物理研究所
公开日期1999-04-14
专利类型实用新型
摘要一种半导体光学测量真空辅助低温装置,属于光学测试辅助设备。由聚四氟乙烯盖(11)密封并装有间隙为6mm的上下两个导光玻璃窗口(8、9)把真空样品室(4)密封,间隙中装有电阻加热丝(10)保证玻璃窗口不结霜,样品室(4)与无氧铜散热器做成一体,并放入有夹层真空的……
申请日期1997-12-27
专利号2314365
语种中文
申请号97246539.1
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12785
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
武胜利,王立军,付德惠,等. 半导体光学测量真空辅助低温装置 (实用新型). 2314365[P]. 1999-04-14.
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