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外差式声光频谱仪芯片的制备方法 (发明)
范俊清; 许承杰; 李也凡
1999-11-10
专利权人中国科学院长春物理研究所
公开日期2012-09-14
专利类型发明专利
摘要外差式声光频谱仪芯片的制备方法,它克服了光栅发散透镜制备技术难度大的缺点。首先在LiNbO↓[3]衬底上超精加工两个非球面短程透镜凹面,再进行精密抛光、超声清洗、高频溅射、高温扩散,制成Ti-LiNbO↓[3]波导,光刻换能器铝电极,再把半导体激光器和二极管阵……
申请日期1998-05-06
专利号1234332
语种中文
申请号97125630.6
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12719
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
范俊清,许承杰,李也凡. 外差式声光频谱仪芯片的制备方法 (发明). 1234332[P]. 1999-11-10.
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