Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 外差式声光频谱仪芯片的制备方法 （发明） | |
| 范俊清; 许承杰; 李也凡 | |
| 1999-11-10 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-09-14 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 外差式声光频谱仪芯片的制备方法，它克服了光栅发散透镜制备技术难度大的缺点。首先在ＬｉＮｂＯ↓［３］衬底上超精加工两个非球面短程透镜凹面，再进行精密抛光、超声清洗、高频溅射、高温扩散，制成Ｔｉ－ＬｉＮｂＯ↓［３］波导，光刻换能器铝电极，再把半导体激光器和二极管阵…… |
| 申请日期 | 1998-05-06 |
| 专利号 | 1234332 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | 97125630.6 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12719 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 范俊清,许承杰,李也凡. 外差式声光频谱仪芯片的制备方法 （发明）. 1234332[P]. 1999-11-10. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN199900123433200000（197KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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