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监控光学镀膜厚度的双光束光学系统 (发明)
王占青
1988-04-20
专利权人中国科学院长春光学精密机械研究所
公开日期1988-04-20
专利类型发明专利
摘要监控光学镀膜厚度的双光束光学系统形式上和已有的单接收器单光路监控光学系统相同,差别是在角可变滤光片(或单色仪出狭缝)之后置一块等双孔光栏,分单束光为参考和测量两束光,再用双排孔调制扇分别调制这两束光,于是构成全对称双光束光学系统.它使电子学系统容易解决基线平直……
申请日期1985-04-01
语种中文
申请号85101725.8
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12673
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
王占青. 监控光学镀膜厚度的双光束光学系统 (发明)[P]. 1988-04-20.
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