Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
监控光学镀膜厚度的双光束光学系统 (发明) | |
王占青 | |
1988-04-20 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
公开日期 | 1988-04-20 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 监控光学镀膜厚度的双光束光学系统形式上和已有的单接收器单光路监控光学系统相同,差别是在角可变滤光片(或单色仪出狭缝)之后置一块等双孔光栏,分单束光为参考和测量两束光,再用双排孔调制扇分别调制这两束光,于是构成全对称双光束光学系统.它使电子学系统容易解决基线平直…… |
申请日期 | 1985-04-01 |
语种 | 中文 |
申请号 | 85101725.8 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12673 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王占青. 监控光学镀膜厚度的双光束光学系统 (发明)[P]. 1988-04-20. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN198608510172500000(174KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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