Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
一种变间距刻划的方法及装置 (发明) | |
花清印; 张庆英 | |
1991-01-30 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
公开日期 | 1991-01-30 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 一种变间距刻划的方法及装置,属于光电控制机械刻划领域中的变间距刻划,尤其是变间距光栅的机械刻划。由相干光源、分光元件和平面变间距样板构成干涉仪系统,用此干涉仪可控制工作台做变间距或变速运动。本发明简单易行,准确可靠,对最小变化量无限制且可实现多种间距变化形式。…… |
申请日期 | 1987-04-10 |
专利号 | 1008404 |
语种 | 中文 |
申请号 | 87102780.1 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12655 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 花清印,张庆英. 一种变间距刻划的方法及装置 (发明). 1008404[P]. 1991-01-30. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN199100100840400000(210KB) | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 |
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