光学元件面形及波纹度误差实时修正方法及装置 （发明）

	光学元件面形及波纹度误差实时修正方法及装置（发明）
	张学军
	2003-10-15
专利权人	中国科学院长春光学精密机械研究所
公开日期	2003-10-15
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及一种对光学元件面形误差、尤其是对于表面细小带差及波纹度误差实时修正方法及装置的改进。采用ＣＣＤ摄像、计算机及图象处理与传统修正方法相比修抛精度提高、修磨针对性强、定位准确、加工过程能够对误差进行定量描述，适用于解决数控高精度非球面光学元件加工过程中的……
申请日期	1999-11-12
专利号	1124189
语种	中文
申请号	99124519.9
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12598
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	张学军. 光学元件面形及波纹度误差实时修正方法及装置（发明）. 1124189[P]. 2003-10-15.