Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (实用新型) | |
巩岩![]() | |
2008-06-25 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2008-06-25 |
专利类型 | 实用新型 |
摘要 | 本实用新型属于短波段成像光学领域,具体的说是一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置。在本实用新型中设计了如图所表示的检测装置,整个光学系统均处于真空条件下,极紫外光源发出极紫外光束经过精密刻画的金属栅网后,打到反射镜和,最后经过待测极紫外成像光学系统在极紫外相机上成像,金属栅网的网格尺度与所成的像进行比较,经过计算即可…… |
资助项目 | 201078747 |
申请号 | 200620149569.5 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12471 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 巩岩. 一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (实用新型)[P]. 2008-06-25. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN200820107874700000(261KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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