Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 倾斜下电极式光开关的闩锁 (实用新型) | |
梁静秋 ; 董玮; 明安杰; 陈维友; 王立军
| |
| 2005-10-05 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2005-10-05 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 摘要 | 本实用新型属于微光机电器件，涉及一种微机械光开关的闩锁包括：微反射镜１、悬臂２、下层基片３，固定梳齿４、可动梳齿５、锚点６、闩７位于下层基片３的上方，倾斜下电极８、倾斜绝缘层９、水平下电极１０及水平绝缘层１１，其中固定梳齿４、锚点６与下层基片３接触，可动梳齿５和闩７悬浮在下层基片３的上方并有间隙；固定梳齿４、可动梳齿５…… |
| 资助项目 | 2731476 |
| 申请号 | 3251920.6 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12412 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,董玮,明安杰,等. 倾斜下电极式光开关的闩锁 (实用新型)[P]. 2005-10-05. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200500273147600000（439KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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