一种静电驱动的可调谐微型光学器件 (实用新型)

	一种静电驱动的可调谐微型光学器件 (实用新型)
	梁静秋
	2003-09-10
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2003-09-10
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型提供一种体积小、工艺兼容、无电磁干扰、可靠性及精度高的静电驱动集成化微型可调谐红外滤光器。有固定端１、８、１１，光栅主体２、滑动端３，连接结构４和５、悬臂梁６、叉指７、１２，锚点９、１３，定位栓１０、１６，气隙１４、衬底１５。硅片上生长ＳｉＯ＃－［２］、下表面光刻、腐蚀、去除ＳｉＯ＃－［２］、与衬底键合，上表……
资助项目	2572421
申请号	2275533.0
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12352
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋. 一种静电驱动的可调谐微型光学器件 (实用新型)[P]. 2003-09-10.