Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
一种微构件摩擦力测试仪 (实用新型) | |
吴一辉; 鞠挥; 贾宏光; 郭占社; 黎海文 | |
2001-10-10 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2001-10-10 |
专利类型 | 实用新型 |
摘要 | 本实用新型涉及一种对微机械构件进行摩擦力测量仪器的改进。它包括:减振工作台、摩擦力测试主体、光学显微镜及CCD系统、监视器、控制系统。本实用新型由于采用独特微悬臂和微探针进行测量,使微加工样片表面三维结构下的摩擦力得到真实反映,同时可以针对不同材料样片选用不同的微探针。由于微构件表面是由一定三维图形组成的立体结构,本实…… |
资助项目 | 2453429 |
申请号 | 264765.6 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12287 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉,鞠挥,贾宏光,等. 一种微构件摩擦力测试仪 (实用新型)[P]. 2001-10-10. |
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CN200100245342900000(277KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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