中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	一种微构件摩擦力测试仪 (实用新型)
	吴一辉; 鞠挥; 贾宏光; 郭占社; 黎海文
	2001-10-10
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2001-10-10
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型涉及一种对微机械构件进行摩擦力测量仪器的改进。它包括：减振工作台、摩擦力测试主体、光学显微镜及ＣＣＤ系统、监视器、控制系统。本实用新型由于采用独特微悬臂和微探针进行测量，使微加工样片表面三维结构下的摩擦力得到真实反映，同时可以针对不同材料样片选用不同的微探针。由于微构件表面是由一定三维图形组成的立体结构，本实……
资助项目	2453429
申请号	264765.6
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12287
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	吴一辉,鞠挥,贾宏光,等. 一种微构件摩擦力测试仪 (实用新型)[P]. 2001-10-10.

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