一种用于真空紫外光学仪器的超高真空狭缝 (实用新型)

	一种用于真空紫外光学仪器的超高真空狭缝 (实用新型)
	徐峰林; 唐玉国
	2001-09-19
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2001-09-19
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型涉及一种对常规光学狭缝及其它真空狭缝的改进。采用弹性结构解决了运动件由于接触产生的分子过镀和摩擦力大的缺陷，提高了运动精度和灵活性。弹性结构、导向调节套、挡帽、载体拨柱、滑套片采用合适的材料解决了材料放气的问题。采用弹性结构、锥楔、直线推杆及其所带动的部件使狭缝口开启分辨率提高，手动读数０．００１ｍｍ与狭缝开……
资助项目	2449213
申请号	255778.9
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12281
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	徐峰林,唐玉国. 一种用于真空紫外光学仪器的超高真空狭缝 (实用新型)[P]. 2001-09-19.