Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 多片立式旋转液相外延石墨舟 (实用新型) | |
| 张富文; 元金山; 李向文 | |
| 2001-01-03 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2001-01-03 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 摘要 | 本实用新型属于半导体光电子设备技术领域，涉及一种对多片立式半导体液相外延石墨舟的改进。多片衬底托架在不同的液相外延阶段任意启动，匀速、变速和停止转动，溶液槽制成斜面形。本实用新型主要用于ＤＨ－ＧａＡｌＡｓ ＬＥＤ液相外延材料生长，可使其限定层、发光层、窗口层生长厚度、Ａｌ组分值和掺杂浓均匀性明显改进，提高了液相外延片…… |
| 资助项目 | 2413385 |
| 申请号 | 203991.5 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12262 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张富文,元金山,李向文. 多片立式旋转液相外延石墨舟 (实用新型)[P]. 2001-01-03. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200100241338500000（151KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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