中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	一种二自由度微位移精密定位装置 (发明)
	齐克奇; 向阳
	2012-08-01
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	一种二自由度微位移精密定位装置，属于一种微位移操作系统。为解决现有技术存在的缺陷，包括定位精度低、个自由度之间扰动大等问题，该装置包括载物台、基板、四个形状结构相同的嵌套式平行四边形柔性连杆机构、四组形状结构相同的平行四边形导向机构、第一压电致动器和第二压电致动器。本发明的有益效果在于，去掉桥式放大机构，改变了驱动模式……
资助项目	102623070A
申请号	201210090999.4
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12252
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	齐克奇,向阳. 一种二自由度微位移精密定位装置 (发明)[P]. 2012-08-01.

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CN201210262307000000（836KB）			开放获取	--	浏览 下载

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