子孔径拼接检测非球面调整误差补偿方法 (发明)

	子孔径拼接检测非球面调整误差补偿方法 (发明)
	王孝坤
	2012-08-01
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	子孔径拼接检测非球面调整误差补偿方法涉及光学检测领域，该方法包括如下步骤：设定干涉仪，使其参考球波前的曲率半径与待测非球面中心区域的最接近球面半径吻合；调整干涉仪与待测非球面的相对位置关系，使干涉仪标准球面波前对准非球面待测区域；通过模式搜索误差补偿方法，消除标准球面检测偏离量较大的待测非球面时产生的调整误差；通过子孔……
资助项目	102620683A
申请号	201210101164.4
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12245
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王孝坤. 子孔径拼接检测非球面调整误差补偿方法 (发明)[P]. 2012-08-01.