Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 干涉式高密度圆光栅偏心检测方法 (发明) | |
| 艾华; 曹艳波 | |
| 2012-07-11 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 干涉式高密度圆光栅偏心检测方法涉及精密仪器检测领域，该方法利用激光器发出的单色光经过主光栅盘发生一次衍射，分别取０级次和＋１级次，两束衍射光经过副光栅盘发生二级衍射取（０，＋１）级次和（＋１，０）级次，出射光线由于主光栅盘的移动，（＋１，０）级次产生频移，（０，＋１）级次则不发生频移，二者出射方向一致，产生干涉条纹；光…… |
| 资助项目 | 102564355A |
| 申请号 | 201110450933.7 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12203 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 艾华,曹艳波. 干涉式高密度圆光栅偏心检测方法 (发明)[P]. 2012-07-11. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN201210256435500000（626KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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