一种平面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 (发明)

	一种平面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 (发明)
	唐玉国; 孔鹏; 李文昊; 巴音贺希格; 齐向东
	2012-02-08
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-02-08
专利类型	发明专利
摘要	一种平面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法，属于光谱技术领域中涉及的平面全息光栅制作所使用的实时监测装置的调整方法。要解决的技术问题是：提供一种调整平面全息光栅曝光光路中实时监测装置的方法。技术方案为：步骤一，建立一套平面全息光栅干涉装置；步骤二，将一块刻线密度与待制作全息光栅相同的机刻光栅置于光栅基底应放置的位……
资助项目	102087480B
申请号	201010599560.5
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11897
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	唐玉国,孔鹏,李文昊,等. 一种平面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 (发明)[P]. 2012-02-08.