投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法 (发明)

	投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法 (发明)
	赵磊; 巩岩; 张巍; 倪明阳; 王学亮; 袁文全
	2010-12-08
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法，涉及一种光学元件重力补偿的装置及方法，它解决了现有光学元件重力补偿装置安装调试困难，制造成本高，无法实现光学元件的中心区域补偿等问题，它包括第一镜筒单元组件、第二镜筒单元组件、隔圈、第一气体压力传感器、第二气体压力传感器和第三气体压力传感器；所述第一镜筒单元组件与第二……
资助项目	101907833A
申请号	201010243111.7
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11801
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	赵磊,巩岩,张巍,等. 投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法 (发明)[P]. 2010-12-08.