中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

QQ客服 官方微博 反馈留言

	基于Ｘ射线衍射仪测量超光滑表面的方法 (发明)
	陈波; 王永刚
	2012-03-21
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-03-21
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及检测超光滑表面粗糙度的方法，特别是一种基于Ｘ射线衍射仪测量超光滑表面的方法，以波长λ小于４的Ｘ射线作为探测光束掠入射到置于样品台上的被测样品表面上，其掠入射角小于样品在Ｘ射线波段的全反射临界角。Ｘ射线衍射仪上的光子计数探测器以设定的间隔和速度旋转逐步扫描接收从样品表面反射出的散射光束，记录逐步的散射光强∏（θ……
资助项目	101738407B
申请号	200910218063.3
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11701
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	陈波,王永刚. 基于Ｘ射线衍射仪测量超光滑表面的方法 (发明)[P]. 2012-03-21.

条目包含的文件		下载所有文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN201010173840700000（247KB）			开放获取	--	浏览 下载

个性服务

推荐该条目

保存到收藏夹

查看访问统计

导出为Endnote文件

谷歌学术

谷歌学术中相似的文章

[陈波]的文章

[王永刚]的文章

百度学术

百度学术中相似的文章

[陈波]的文章

[王永刚]的文章

必应学术

必应学术中相似的文章

[陈波]的文章

[王永刚]的文章

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。