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激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法 (发明)
孙继凤; 刘立峰; 郭晓光; 汤建华; 田兴志
2012-03-21
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2012-03-21
专利类型发明专利
摘要激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法,属于半导体器件的激光精细加工领域。该控制系统包括激光器、光电转换器、幅度检测电路模块、光刻控制器、脉宽可调信号发生器、扫描振镜、聚焦透镜、被调电阻。采用脉宽可调控制技术,对系列激光脉冲串的首脉冲或前几个脉冲能量进行抑制,使其等于或低于后续稳定的激光脉冲的能量。采用能量相同的……
资助项目101733560B
申请号200910217806.5
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11697
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
孙继凤,刘立峰,郭晓光,等. 激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法 (发明)[P]. 2012-03-21.
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