激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法 (发明)

	激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法 (发明)
	孙继凤; 刘立峰; 郭晓光; 汤建华; 田兴志
	2012-03-21
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-03-21
专利类型	发明专利
摘要	激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法，属于半导体器件的激光精细加工领域。该控制系统包括激光器、光电转换器、幅度检测电路模块、光刻控制器、脉宽可调信号发生器、扫描振镜、聚焦透镜、被调电阻。采用脉宽可调控制技术，对系列激光脉冲串的首脉冲或前几个脉冲能量进行抑制，使其等于或低于后续稳定的激光脉冲的能量。采用能量相同的……
资助项目	101733560B
申请号	200910217806.5
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11697
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	孙继凤,刘立峰,郭晓光,等. 激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法 (发明)[P]. 2012-03-21.