Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 实现拾取和翻转芯片的装置 (发明) | |
| 张德龙; 吴玉彬; 宋志; 常丰吉; 田学光 | |
| 2012-02-22 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-02-22 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明涉及一种实现拾取和翻转芯片的装置，该装置利用翻转电机通过翻转电机连接套直接驱动吸头装置运动，从而实现芯片翻转，翻转杆内部的通孔与导向杆、吸杆、吸嘴的轴孔共同构成真空通道，外部气路通过气管接头和该真空通道作用于吸嘴端部，来进行芯片吸取。本发明由于采用翻转电机直接驱动吸头装置运动，具有结构简单、体积小、工作可靠、成本…… |
| 资助项目 | 101710565B |
| 申请号 | 200910217905.3 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11667 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张德龙,吴玉彬,宋志,等. 实现拾取和翻转芯片的装置 (发明)[P]. 2012-02-22. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN201010171056500000（412KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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