CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
实现拾取和翻转芯片的装置 (发明)
张德龙; 吴玉彬; 宋志; 常丰吉; 田学光
2012-02-22
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2012-02-22
专利类型发明专利
摘要本发明涉及一种实现拾取和翻转芯片的装置,该装置利用翻转电机通过翻转电机连接套直接驱动吸头装置运动,从而实现芯片翻转,翻转杆内部的通孔与导向杆、吸杆、吸嘴的轴孔共同构成真空通道,外部气路通过气管接头和该真空通道作用于吸嘴端部,来进行芯片吸取。本发明由于采用翻转电机直接驱动吸头装置运动,具有结构简单、体积小、工作可靠、成本……
资助项目101710565B
申请号200910217905.3
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11667
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
张德龙,吴玉彬,宋志,等. 实现拾取和翻转芯片的装置 (发明)[P]. 2012-02-22.
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