中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

QQ客服 官方微博 反馈留言

	激光调阻机探针保护装置 (发明)
	刘立峰; 孙继凤; 张德龙; 汤建华; 吴玉斌
	2011-11-30
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2011-11-30
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及对激光调阻机的改造，具体涉及一种激光调阻机探针保护装置，包括在激光调阻机的探针系统基座上设置一能反馈探针架上下行程位置的光电反射式传感器和与该光电反射式传感器控制连接的继电器，所述的继电器串联在运动控制器与光刻平台电机驱动器的控制电路上，当探针架处于下压位置时，所述的光电反射式传感器输出高电平，继电器断开；当……
资助项目	101710511B
申请号	200910217998.X
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11666
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	刘立峰,孙继凤,张德龙,等. 激光调阻机探针保护装置 (发明)[P]. 2011-11-30.

条目包含的文件		下载所有文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN201010171051100000（131KB）			开放获取	--	浏览 下载

个性服务

推荐该条目

保存到收藏夹

查看访问统计

导出为Endnote文件

谷歌学术

谷歌学术中相似的文章

[刘立峰]的文章

[孙继凤]的文章

[张德龙]的文章

百度学术

百度学术中相似的文章

[刘立峰]的文章

[孙继凤]的文章

[张德龙]的文章

必应学术

必应学术中相似的文章

[刘立峰]的文章

[孙继凤]的文章

[张德龙]的文章

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。