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全息光栅制作中实时监测曝光量的方法 (发明)
李文昊; 巴音贺希格; 齐向东; 唐玉国; 孔鹏
2011-11-30
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2011-11-30
专利类型发明专利
摘要全息光栅制作中实时监测曝光量的方法,属于光谱技术领域中涉及的一种全息光栅制作中实时监测曝光量的方法。要解决的技术问题是提供一种全息光栅制作中曝光量实时监测的方法。技术方案为步骤一,配备一套全息光栅曝光装置;步骤二,配备一套精确控制全息光栅曝光量实时监测装置;步骤三,潜像光栅的制备并进行曝光量的实时监测;步骤四,确定曝光……
资助项目101441431B
申请号200810187608.4
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11574
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
李文昊,巴音贺希格,齐向东,等. 全息光栅制作中实时监测曝光量的方法 (发明)[P]. 2011-11-30.
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