一种微流靶激光等离子体软Ｘ射线－极紫外光源 (发明)

	一种微流靶激光等离子体软Ｘ射线－极紫外光源 (发明)
	尼启良; 陈波
	2011-05-18
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2011-05-18
专利类型	发明专利
摘要	一种微流靶激光等离子体软Ｘ射线－极紫外光源，属于软Ｘ射线－极紫外光学技术领域中涉及的一种激光等离子体光源。要解决的技术问题是：提供一种微流靶激光等离子体软Ｘ射线－极紫外光源，解决技术问题的技术方案包括窗口、激光束、聚光透镜、真空靶室、金属制冷管、喷嘴、液体微流靶、真空泵；绝热壳体、致冷器支架、半导体致冷器、导热金属板、……
资助项目	101111119B
申请号	200610017031.3
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11481
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	尼启良,陈波. 一种微流靶激光等离子体软Ｘ射线－极紫外光源 (发明)[P]. 2011-05-18.