Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 聚合物微型谐振环波分复用器及其制备方法 (发明) | |
鄂书林 ; 邓文渊; 孙德贵; 王鹏飞
| |
| 2007-01-10 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明涉及微型谐振环与直波导垂直耦合的新型波分复用器。硅基板１、下包层２、输入直波导３、输出直波导４、缓冲层５、微型谐振环６；在硅基板上旋涂聚合物材料，制成下包层；再次旋涂一层下包层；下包层上刻蚀刻出输入直波导和输出直波导的凹槽；旋涂输入直波导和输出直波导的芯层；旋涂缓冲层；旋涂微型谐振环的芯层材料；真空溅射镀铝、涂光…… |
| 资助项目 | 1893334 |
| 申请号 | 200510016932.6 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11455 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鄂书林,邓文渊,孙德贵,等. 聚合物微型谐振环波分复用器及其制备方法 (发明)[P]. 2007-01-10. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200700189333400000（427KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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