中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	一种制备P型Zn0欧姆电极的方法 (发明)
	王新; 吕有明; 张吉英; 申德振
	2008-09-17
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2008-09-17
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于半导体材料技术领域，是一种制备Ｐ型ＺｎＯ欧姆电极的方法。利用真空蒸发设备先在ｐ型ＺｎＯ上蒸镀金属Ｎｉ，形成第一层Ｎｉ电极材料，然后蒸镀金属Ａｕ，形成第二层Ａｕ电极材料作为电极，接下来将制备的电极在氮气中低温下进行快速热退火。由于Ｎｉ和Ａｕ的功函数都较大，Ｎｉ又可以与Ａｕ等金属形成合金，在快速热退火中，金属Ｎｉ……
资助项目	100419976
申请号	200510016510.9
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11377
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王新,吕有明,张吉英,等. 一种制备P型Zn0欧姆电极的方法 (发明)[P]. 2008-09-17.

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CN200600180146000000（431KB）			开放获取	--	浏览 下载

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