Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种制备P型Zn0欧姆电极的方法 (发明) | |
王新; 吕有明; 张吉英; 申德振
| |
| 2008-09-17 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2008-09-17 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明属于半导体材料技术领域，是一种制备Ｐ型ＺｎＯ欧姆电极的方法。利用真空蒸发设备先在ｐ型ＺｎＯ上蒸镀金属Ｎｉ，形成第一层Ｎｉ电极材料，然后蒸镀金属Ａｕ，形成第二层Ａｕ电极材料作为电极，接下来将制备的电极在氮气中低温下进行快速热退火。由于Ｎｉ和Ａｕ的功函数都较大，Ｎｉ又可以与Ａｕ等金属形成合金，在快速热退火中，金属Ｎｉ…… |
| 资助项目 | 100419976 |
| 申请号 | 200510016510.9 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11377 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王新,吕有明,张吉英,等. 一种制备P型Zn0欧姆电极的方法 (发明)[P]. 2008-09-17. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200600180146000000（431KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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