Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 微机械光开关的闩锁及制作 (发明) | |
梁静秋 ; 董玮; 明安杰; 陈维友; 王立军
| |
| 2008-06-18 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2008-06-18 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明属于微光机电器件，涉及一种微机械光开关的闩锁它包括：微反射镜１、悬臂２、下层基片３、倾斜下电极８、倾斜绝缘层９、水平下电极１０及水平绝缘层１１，制作步骤：首先在衬底上涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀掉闩锁图形的所在区域的水平绝缘层及水平下电极，然后将下层基片刻蚀到适当深度；再次涂胶、前烘、曝光、显影形成可动梳齿…… |
| 资助项目 | 100395577 |
| 申请号 | 3127612.1 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11223 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,董玮,明安杰,等. 微机械光开关的闩锁及制作 (发明)[P]. 2008-06-18. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200400154248000000（641KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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