中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	用于光开关的阵列准直耦合组件及其制作方法 (发明)
	梁静秋; 董玮; 赵莉娜; 陈维友
	2007-01-17
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及微机械光开关及制作。包括基座，凹坑，Ｖ形槽，入射、第一、第二出射准直器；方法用硅衬底基片生长二氧化硅和氮化硅薄膜，上、下表面涂覆光刻胶、前烘并坚膜或曝光和显影去胶制成Ｖ形槽和凹坑图形，腐蚀上表面Ｖ形槽和凹坑的二氧化硅和氮化硅薄膜制成Ｖ形槽和凹坑的硅图形；腐蚀Ｖ形槽硅图形再厚胶光刻，刻蚀凹坑硅图形，去除上表面光……
资助项目	1896785
申请号	200510119011.2
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11220
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋,董玮,赵莉娜,等. 用于光开关的阵列准直耦合组件及其制作方法 (发明)[P]. 2007-01-17.

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CN200700189678500000（378KB）			开放获取	--	浏览 下载

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