中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	厚度调节混合制作多级微反射镜的方法 (发明)
	梁中翥; 梁静秋
	2009-12-30
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2009-12-30
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及一种厚度调节混合制作多级微反射镜的方法，包括如下步骤：制作ｎ个基片并对其进行清洗处理；将基片并分成Ｎ组基片单元，然后研磨、抛光四个侧面；第一组基片单元上下侧表面之间的高度为Ｈ，依此类推，第Ｎ组基片单元上下侧表面之间的高度为Ｈ＋（Ｎ－１）ｎｈ／Ｎ；分别在各基片的上侧表面沉积不同厚度的薄膜材料；将各基片依次紧密排……
资助项目	100575990
申请号	200810050785.8
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11206
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁中翥,梁静秋. 厚度调节混合制作多级微反射镜的方法 (发明)[P]. 2009-12-30.

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CN200810128590400000（346KB）			开放获取	--	浏览 下载

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