中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

QQ客服 官方微博 反馈留言

	一种X射线组合透镜及其制作工艺 (发明)
	梁静秋; 乐孜纯; 孔庆峰
	2006-08-02
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于Ｘ射线微结构光学器件，尤其是Ｘ射线组合透镜及其制作工艺。本发明包括：支撑体，透镜主体和空气腔。首先在单晶硅片表面依次制作聚酰亚胺和金属薄膜，光刻、电铸，去胶，开窗口，完成Ｘ射线光刻掩膜制作；然后，在钛片表面制备Ｘ射线光刻胶，用制备好的掩膜进行Ｘ射线光刻形成双抛物面型透镜形状的光刻胶结构和空气腔形状的空隙；最后……
资助项目	1811491
申请号	200510016552.2
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11204
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋,乐孜纯,孔庆峰. 一种X射线组合透镜及其制作工艺 (发明)[P]. 2006-08-02.

条目包含的文件		下载所有文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN200600181149100000（373KB）			开放获取	--	浏览 下载

个性服务

推荐该条目

保存到收藏夹

查看访问统计

导出为Endnote文件

谷歌学术

谷歌学术中相似的文章

[梁静秋]的文章

[乐孜纯]的文章

[孔庆峰]的文章

百度学术

百度学术中相似的文章

[梁静秋]的文章

[乐孜纯]的文章

[孔庆峰]的文章

必应学术

必应学术中相似的文章

[梁静秋]的文章

[乐孜纯]的文章

[孔庆峰]的文章

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。