Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
一种X射线组合透镜及其制作工艺 (发明) | |
梁静秋![]() | |
2006-08-02 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 本发明属于X射线微结构光学器件,尤其是X射线组合透镜及其制作工艺。本发明包括:支撑体,透镜主体和空气腔。首先在单晶硅片表面依次制作聚酰亚胺和金属薄膜,光刻、电铸,去胶,开窗口,完成X射线光刻掩膜制作;然后,在钛片表面制备X射线光刻胶,用制备好的掩膜进行X射线光刻形成双抛物面型透镜形状的光刻胶结构和空气腔形状的空隙;最后…… |
资助项目 | 1811491 |
申请号 | 200510016552.2 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11204 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,乐孜纯,孔庆峰. 一种X射线组合透镜及其制作工艺 (发明)[P]. 2006-08-02. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN200600181149100000(373KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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