Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 静电叠层式兰姆波微型传感器 (发明) | |
吴一辉 ; 弗朗西思.贝思汀; 米歇尔.罗勃切罗尔; 贾宏光; 鞠挥
| |
| 2002-12-04 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明用于压力、加速度测量，可以应用于生物、化学、环境等许多领域中，涉及对液体或气体蒸汽等微质量变化的测量，尤其是涉及一种对兰姆波微传感器的改进。它包括衬底、薄膜，金属层、凸台、接收窗口、叉指电极、齿状支撑、衬底，本发明采用常规的体硅工艺，不需特殊工艺便可制造；由于采用薄膜、金属层、凸台、齿状支撑和叉指电极的结构，提供…… |
| 资助项目 | 1382979 |
| 申请号 | 1116718.1 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11193 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉,弗朗西思.贝思汀,米歇尔.罗勃切罗尔,等. 静电叠层式兰姆波微型传感器 (发明)[P]. 2002-12-04. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200200138297900000（184KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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