一种掠出射荧光在线测量光学多层膜厚度的装置 (发明)

	一种掠出射荧光在线测量光学多层膜厚度的装置 (发明)
	巩岩
	2005-07-20
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	一种掠出射荧光在线测量光学多层膜厚度的装置，属于光学测试技术领域中涉及的一种膜厚测量装置，要解决的技术问题是：提供一种掠出射荧光在线测量光学多层膜厚度的装置，解决的技术方案：包括高压电源、Ｘ光管、聚光透镜、被测光学多层膜、多层膜基片、工作转台、氩气入口、阴极靶、双狭缝、分光元件、探测器、真空腔体、抽气口。在真空腔体内，……
资助项目	1641332
申请号	200410010637.5
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11174
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	巩岩. 一种掠出射荧光在线测量光学多层膜厚度的装置 (发明)[P]. 2005-07-20.