一种6nm-100nm波段极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (发明)

	一种6nm-100nm波段极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (发明)
	巩岩
	2008-04-30
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于短波段成像光学领域，具体的说是一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置。在本发明中设计了如图所表示的检测装置，整个光学系统均处于真空条件下，极紫外光源１发出极紫外光束经过精密刻画的金属栅网７后，打到反射镜３和４，最后经过待测极紫外成像光学系统５在极紫外相机６上成像，金属栅网的网格尺度与所成的像进行比较，经过计算……
资助项目	101169349
申请号	200610163271.4
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11164
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	巩岩. 一种6nm-100nm波段极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (发明)[P]. 2008-04-30.