Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
一种6nm-100nm波段极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (发明) | |
巩岩 | |
2008-04-30 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 本发明属于短波段成像光学领域,具体的说是一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置。在本发明中设计了如图所表示的检测装置,整个光学系统均处于真空条件下,极紫外光源1发出极紫外光束经过精密刻画的金属栅网7后,打到反射镜3和4,最后经过待测极紫外成像光学系统5在极紫外相机6上成像,金属栅网的网格尺度与所成的像进行比较,经过计算…… |
资助项目 | 101169349 |
申请号 | 200610163271.4 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11164 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 巩岩. 一种6nm-100nm波段极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 (发明)[P]. 2008-04-30. |
条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN200810116934900000(258KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
个性服务 |
推荐该条目 |
保存到收藏夹 |
查看访问统计 |
导出为Endnote文件 |
谷歌学术 |
谷歌学术中相似的文章 |
[巩岩]的文章 |
百度学术 |
百度学术中相似的文章 |
[巩岩]的文章 |
必应学术 |
必应学术中相似的文章 |
[巩岩]的文章 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论