中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	柔性平板波压差式微流量传感器及其制作方法 (发明)
	贾宏光; 吴一辉; 胡友旺
	2007-06-27
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2007-06-27
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及微流量测量的传感器及制作方法。包括：入、出口１、１１、上盖２、微腔体３、９、主体４、导线５、８、支架６、信号处理模块７、微管道１０。上盖氧化、涂胶、光刻、去二氧化硅、去胶，刻蚀得两通孔；主体Ａ、Ｂ面氧化、Ａ面涂胶、光刻、去二氧化硅、一次腐蚀得两个腐蚀坑、Ｂ面制导电地层、激励层、四个叉指换能器，二次腐蚀得两个凹……
资助项目	1323287
申请号	200410011217.9
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11122
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	贾宏光,吴一辉,胡友旺. 柔性平板波压差式微流量传感器及其制作方法 (发明)[P]. 2007-06-27.

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文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN200500160376100000（964KB）			开放获取	--	浏览 请求全文

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