Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
柔性平板波压差式微流量传感器及其制作方法 (发明) | |
贾宏光; 吴一辉![]() | |
2007-06-27 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2007-06-27 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 本发明涉及微流量测量的传感器及制作方法。包括:入、出口1、11、上盖2、微腔体3、9、主体4、导线5、8、支架6、信号处理模块7、微管道10。上盖氧化、涂胶、光刻、去二氧化硅、去胶,刻蚀得两通孔;主体A、B面氧化、A面涂胶、光刻、去二氧化硅、一次腐蚀得两个腐蚀坑、B面制导电地层、激励层、四个叉指换能器,二次腐蚀得两个凹…… |
资助项目 | 1323287 |
申请号 | 200410011217.9 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11122 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾宏光,吴一辉,胡友旺. 柔性平板波压差式微流量传感器及其制作方法 (发明)[P]. 2007-06-27. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN200500160376100000(964KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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