Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
一种浮法抛光液膜厚度测量装置 (发明) | |
徐长山; 王君林![]() | |
2004-11-17 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2004-11-17 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 一种浮法抛光液膜厚度测量装置,属于光学冷加工技术领域中的一种抛光液膜厚度的测量装置。本发明要解决的技术问题是:光杠杆能在抛光液膜中浮起和俯仰角度变化的测量。解决技术问题的技术方案是:采用光滑转轴支撑光杠杆结构,光杠杆浮在液膜表面的一端带有过渡圆滑的弯脚,另一端带有反射镜,用平行光管观察光杠杆的俯仰角度变化。本发明是由抛…… |
资助项目 | 1176350 |
申请号 | 2132423.9 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11091 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐长山,王君林. 一种浮法抛光液膜厚度测量装置 (发明)[P]. 2004-11-17. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN200200138702200000(240KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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