Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种浮法抛光液膜厚度测量装置 (发明) | |
徐长山; 王君林
| |
| 2004-11-17 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2004-11-17 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种浮法抛光液膜厚度测量装置，属于光学冷加工技术领域中的一种抛光液膜厚度的测量装置。本发明要解决的技术问题是：光杠杆能在抛光液膜中浮起和俯仰角度变化的测量。解决技术问题的技术方案是：采用光滑转轴支撑光杠杆结构，光杠杆浮在液膜表面的一端带有过渡圆滑的弯脚，另一端带有反射镜，用平行光管观察光杠杆的俯仰角度变化。本发明是由抛…… |
| 资助项目 | 1176350 |
| 申请号 | 2132423.9 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11091 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐长山,王君林. 一种浮法抛光液膜厚度测量装置 (发明)[P]. 2004-11-17. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200200138702200000（240KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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