用衍射仪测量等周期多层膜膜厚随机变化量的方法 (发明)

	用衍射仪测量等周期多层膜膜厚随机变化量的方法 (发明)
	杨雄; 姚志华; 张立超; 金卫华; 金春水
	2007-08-08
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2007-08-08
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及多层膜参数测量技术。在Ｘ射线衍射仪上测量多层膜，得到记录有反射率或衍射光强及其入射角θ的数据文件；利用一个峰值反射率或两个峰值衍射光强及其入射角θ和衍射级ｍ，再根据多层膜的比值γ、周期数Ｎ和单界面反射系数ｒ↓［１２］，利用公式α／２＝ｍγπ和如上述公式以及Δｄ＝Δαλ／４πｓｉｎθ计算得到多层膜周期厚度的随机……
资助项目	1330926
申请号	200410011282.1
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11070
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	杨雄,姚志华,张立超,等. 用衍射仪测量等周期多层膜膜厚随机变化量的方法 (发明)[P]. 2007-08-08.