Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种适合分子束外延制备氧化物薄膜的方法 (发明) | |
吕有明; 梁红伟; 李炳辉 ; 吴春霞; 颜建锋; 魏志鹏; 赵东旭; 申德振
| |
| 2006-05-31 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2006-05-31 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明属于半导体材料技术领域，涉及一种利用分子束外延制备氧化物薄膜的方法，将传统的分子束外延设备改造成等离子体协助分子束外延，发挥分子束外延技术在制备材料方面的优势，获得研究和制备氧化锌薄膜器件的最佳方法。利用射频等离子体源将氧气活化，变成氧原子再引进到生长室，有效地降低了生长温度，同时利用铂金丝缠绕在由高纯陶瓷制成的…… |
| 资助项目 | 1258005 |
| 申请号 | 3110865.2 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11047 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕有明,梁红伟,李炳辉,等. 一种适合分子束外延制备氧化物薄膜的方法 (发明)[P]. 2006-05-31. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200400151745400000（290KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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