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利用光刻技术和汽相沉积技术制作薄膜热电偶 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2004-02-11, 公开日期: 2004-02-11
发明人:  高劲松
Adobe PDF(161Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：317/41  |  提交时间：2012/08/29