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Growth of high-quality AlN films on sapphire substrate by introducing voids through growth-mode modification 期刊论文
Applied Surface Science, 2020, 卷号: 518, 页码: 7
作者:  B. Tang,H. P. Hu,H. Wan,J. Zhao,L. Y. Gong,Y. Lei,Q. Zhao and S. J. Zhou
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