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基于灰度插值的条纹图像位移亚像素检测算法 期刊论文
光学学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 133-141
作者:  李舒航;  高旭;  刘兆武;  胡文浩
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二维光栅位移测量技术综述 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 06, 页码: 1224-1238
作者:  尹云飞;  刘兆武;  吉日嘎兰图;  于宏柱;  王玮;  李晓天;  鲍赫;  李文昊;  郝群
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：282/91  |  提交时间：2021/07/06
二维光栅  光栅干涉技术  精密位移测量  
五维自由度衍射光栅精密测量系统（英文） 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 01, 页码: 189-202
作者:  吕强;  王玮;  刘兆武;  宋莹;  姜珊;  刘林;  巴音贺希格;  李文昊
Adobe PDF(3195Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：139/50  |  提交时间：2021/07/06
衍射光栅  精密测量  五维自由度  
Simple and compact grating-based heterodyne interferometer with the Littrow configuration for high-accuracy and long-range measurement of two-dimensional displacement 期刊论文
APPLIED OPTICS, 2018, 卷号: 57, 期号: 31, 页码: 9455-9463
作者:  Lv, Qiang;  Liu, Zhaowu;  Wang, Wei;  Li, Xiaotian;  Li, Shuo;  Song, Ying;  Yu, Hongzhu;  Bayanheshig;  Li, Wenhao
Adobe PDF(1611Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：388/110  |  提交时间：2019/08/26
laser  nonlinearity  encoder  errors  stage  Optics  
Seya-Namioka单色仪中光栅曲率半径误差的影响及补偿 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 04, 页码: 623-629
作者:  孟竹;  谭鑫;  巴音贺希格;  王玮;  刘兆武;  赵旭龙
收藏  |  浏览/下载：317/0  |  提交时间：2019/09/17
曲率半径误差  Seya-Namioka光栅  光线追迹  使用参数  误差补偿  
基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 39-50
作者:  吕强;  李文昊;  巴音贺希格;  柏杨;  刘兆武;  王玮
caj(407Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：385/104  |  提交时间：2018/04/09
位移测量  光栅  衍射干涉  高精度  
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：330/90  |  提交时间：2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：277/73  |  提交时间：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪