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| 基于粒子群算法离轴多反光学系统设计 期刊论文 中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450 作者: 吴越; 王丽萍; 于杰; 张旭; 金春水 浏览  |  Adobe PDF(2477Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:131/51  |  提交时间:2022/06/29 |
| 变步长搜索的计算全息图编码方法 期刊论文 中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 02, 页码: 368-374 作者: 邱宏伟; 金春水; 于杰; 刘钰; 张海涛; 王丽萍; 孙诗壮 浏览  |  Adobe PDF(2699Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:109/43  |  提交时间:2022/06/29 |
| 一种光机系统结构稳定性评估方法 期刊论文 激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128 作者: 郭本银; 谢耀; 于杰; 王丽萍; 苗亮 caj(1232Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:220/87  |  提交时间:2017/09/17 测量 长期稳定性 敏感矩阵 奇异值分解 |
| 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272 作者: 王辉; 周烽; 喻波; 谢耀; 于杰; 刘钰; 王丽萍 caj(1280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:329/113  |  提交时间:2016/07/06 测量 光刻技术 有限元分析 高复现性支撑装置 薄膜均匀性测量 |
| 光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142 作者: 代晓珂; 金春水; 王丽萍; 于杰 caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:332/101  |  提交时间:2015/04/17 光学设计 极紫外光刻 光纤点衍射 球面参考源 偏振控制 |
| 极小孔径衍射波前测试分析 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2639-2644 作者: 邵晶; 马冬梅; 张海涛; 于杰; 周烽 caj(431Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:397/88  |  提交时间:2015/04/17 光学检测 点衍射干涉仪 相位复原 衍射波前 |
| 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 期刊论文 中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862 作者: 代晓珂; 金春水; 于杰 caj(651Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:340/97  |  提交时间:2015/04/17 光学检测 点衍射干涉仪 波面参考源 误差研究 公差分析 |
| 微缩投影系统的计算机辅助装调 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2103-2108 作者: 谢耀; 于杰; 王丽萍; 王辉; 周烽 caj(208Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:349/104  |  提交时间:2015/04/17 微缩投影系统 集成装调 计算机辅助装调 敏感度矩阵 奇异值分解 |
| 一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: 201110449616.3, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09 发明人: 张海涛; 于杰; 马冬梅; 金春水 Adobe PDF(449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:305/96  |  提交时间:2015/02/10 |
| 高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文 中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140 作者: 王辉; 于杰; 周烽; 王丽萍 caj(551Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:549/131  |  提交时间:2013/03/11 测量 极紫外光刻 高重复性干涉仪 有限元分析 检测支撑 |