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Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Research on the interference technology of high repetition frequency CO2 laser 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 6, 页码: 983-990
作者:  Chen, Jian;  Gao, Hui-Bin
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Laser damage  Carbon dioxide  Carbon dioxide lasers  Damage detection  Thin films