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19_5nm极紫外反射镜的研制 期刊论文
光学技术, 2008, 期号: 3
作者:  赵伟;  袁宏韬;  缪同群
caj(119Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：464/79  |  提交时间：2012/09/25
薄膜光学  极紫外  多层膜  非周期  离子束溅射  同步辐射